Product Selection Guide

Harrick Plasma產品型錄

Harrick Plasma PDC-32G Basic Plasma Cleaner

PDC-32GBasic Plasma Cleaner

輕巧且經濟實惠的桌上型電漿系統，搭配重新設計的鉸鏈門、觀察窗、主動式散熱與 improved metering valve，適合小尺寸樣品的奈米級表面清潔與活化。

最高 RF 功率 18W
腔體尺寸 Pyrex 3" diameter x 6.5" length
重量 / 尺寸 13 lbs｜8.5" H x 10" W x 8" D
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Harrick Plasma PDC-001 Expanded Plasma Cleaner

PDC-001Expand Plasma Cleaner

較大型的桌上型電漿系統，具備 Basic 機型 4 倍的腔體容量，廣泛應用於常規尺寸樣品的奈米級表面清潔與表面活化。

最高 RF 功率 30W
腔體尺寸 Pyrex 6" diameter x 6.5" length
重量 / 尺寸 37 lbs｜11" H x 18" W x 9" D
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Harrick Plasma PDC-001-HP High Power Expanded Plasma Cleaner

PDC-001HPHigh Power Plasma Cleaner

清潔速率為 Expanded 機型的兩倍，除了表面活化與表面改質外，也可進一步執行有機薄膜蝕刻（10-100 nm），適合需要更高處理速率與進階改質能力的團隊。

最高 RF 功率 45W
腔體尺寸 Pyrex 6" diameter x 6.5" length
重量 / 尺寸 37 lbs｜11" H x 18" W x 9" D
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原廠擴充配件

Harrick Plasma PlasmaFlo 氣體控制混合器與壓力監測模組

PlasmaFlo 氣體控制混合器

PlasmaFlo 為 Harrick Plasma 原廠選配附件，可搭配各型 Plasma Cleaner 使用，適合需要更穩定 gas mixing、定量流量控制與真空壓力監測的流程。

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雙氣體輸入：可混合或獨立定量控制最多兩種製程氣體。
流量計精度：± 2% full scale accuracy。
最大流量：50 mL/min（以 atmospheric air at 0 psig 為基準；實際流量依氣體與壓力而異）。
壓力監測：內建 thermocouple vacuum gauge 與數位顯示，量測範圍 1 至 1999 mTorr。
機身尺寸 / 重量：8.5" H × 10" W × 8" D ｜ 7 lbs。
相容型號：PDC-32G、PDC-001、PDC-002、PDC-001-HP、PDC-002-HP。
原廠型號：PDC-FMG（115V）／PDC-FMG-2（230V）。規格整理自 Harrick Plasma PlasmaFlo datasheet。
Harrick Plasma Vacuum Gauge and Digital Meter 真空計與數位壓力顯示附件

Vacuum Gauge and Digital Meter

PDC-VCG 為 Harrick Plasma 原廠選配附件，可作為獨立真空計與數位顯示計，協助在電漿處理過程中即時監測腔體壓力，提升製程重複性與一致性。

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量測方式：Thermocouple vacuum gauge sensor。
顯示範圍：數位壓力顯示 1 mTorr 至 760 Torr。
標配接頭：Tee adapter 可連接 plasma cleaner front door；另附 1/4" OD hose adapter 可連接 metering valve。
機身尺寸 / 重量：5" H × 10" W × 8" D ｜ 5 lbs。
相容型號：PDC-32G、PDC-001、PDC-002、PDC-001-HP、PDC-002-HP。
原廠型號：PDC-VCG（115V）／PDC-VCG-2（230V）。規格整理自 Harrick Plasma Vacuum Gauge datasheet。
Harrick Plasma 石英腔體與樣品盤配件

石英腔體與樣品盤

Quartz chamber 適用於反應性氣體與對污染敏感的應用；sample tray 則可協助小型樣品的批次上樣與卸載。