Harrick Plasma 產品

Harrick Plasma PDC-32G Basic Plasma Cleaner

PDC-32GBasic Plasma Cleaner基礎型電漿清洗機

輕巧且經濟實惠的桌上型電漿系統，搭配重新設計的鉸鏈門、觀察窗、主動式散熱與改良式流量控制閥，適合小尺寸樣品的奈米級表面清潔與活化。

最高 RF 功率 18W
腔體尺寸 Pyrex 3" diameter x 6.5" length
重量 / 尺寸 13 lbs｜8.5" H x 10" W x 8" D
Harrick Plasma PDC-001 Expanded Plasma Cleaner

PDC-001Expanded Plasma Cleaner擴充型電漿清洗機

較大型的桌上型電漿系統，具備基礎型機種 4 倍的腔體容量，廣泛應用於常規尺寸樣品的奈米級表面清潔與表面活化。

最高 RF 功率 30W
腔體尺寸 Pyrex 6" diameter x 6.5" length
重量 / 尺寸 37 lbs｜11" H x 18" W x 9" D
Harrick Plasma PDC-001-HP High Power Expanded Plasma Cleaner

PDC-001-HPHigh Power Expanded Plasma Cleaner高功率電漿清洗機

清潔速率為擴充型機種的兩倍，除了表面活化與表面改質外，也可進一步執行 10-100 nm 有機薄膜蝕刻，適合需要更高處理速率與進階改質能力的團隊。

最高 RF 功率 45W
腔體尺寸 Pyrex 6" diameter x 6.5" length
重量 / 尺寸 37 lbs｜11" H x 18" W x 9" D

原廠擴充配件

Harrick Plasma PlasmaFlo 氣體混合與流量控制

PlasmaFlo 氣體混合與流量控制

PlasmaFlo 是 Harrick Plasma 原廠選配附件，可搭配各型電漿清洗機使用，適合有氣體混合需求、定量流量控制與真空壓力監測的流程。

Harrick Plasma PDC-VCG 數位真空顯示計

PDC-VCG 數位真空顯示計

PDC-VCG 為 Harrick Plasma 原廠選配附件，可作為獨立真空計與數位顯示計，協助在電漿處理過程中即時監測腔體壓力，提升製程重複性與一致性。

Harrick Plasma 石英腔體與樣品盤配件

石英腔體與樣品盤

石英材質腔體用於反應性氣體與對污染敏感的應用，樣品盤協助小型樣品的批次擺放應用。